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真空爐泄漏檢測的步驟是:
1、在開始任何檢測之前,都要確保氦泄漏檢測儀經過標定(使用標準漏孔進行檢查)且性能正常。向檢測儀外殼內部噴入少量氣體,以確認檢測儀本身沒有任何泄漏。另外,也要檢查泄漏檢測儀與真空爐連接點的泄漏情況。
2、在球閥處于關閉的狀態下將泄漏檢測儀連接到粗抽管路的端口上。
3、確認擴散泵和粗抽泵的水路已經打開。
4、啟動維持泵和粗抽泵。
5、在啟動擴散泵前手動打開前級管路,檢查其泄漏情況。完成這項檢查后要確保關閉前級管路閥。
6、慢慢打開球閥,使氦泄漏檢測儀與系統接通。
7、向前級管路和粗抽系統的所有焊縫、螺紋接口和法蘭噴吹少量氦氣,檢查這些部位的泄漏情況。
8、對這項初步檢測發現的任何泄漏進行修復。
9、如果發現并修復了任何泄漏,則重復執行步驟5)–7)并再次檢查泄漏情況。
10、如果未發現新的泄漏,就關閉泄漏檢測儀球閥,啟動擴散泵,將其預熱45分鐘。
11、開始正式檢測,將爐室抽真空到水平。
12、如果爐室達不到高真空度,略微打開通往泄漏檢測儀的球閥,對爐室、增壓泵泵殼、架空管路和真空切換管路上的所有法蘭、螺紋接口和焊縫進行檢查。對這一步發現的任何泄漏進行修復。
13、現在以較大流量噴吹氦氣,對整個系統進行仔細檢查。
14、如果未發現新的泄漏,就關閉通往泄漏檢測儀的球閥,將檢測儀與系統脫開。
15、現在,真空爐應當得到了全面檢查,可以為恢復生產作好準備。
16、如果沒有發現外部氦氣泄漏,但泄漏率測試結果仍然顯示爐室的泄漏率較高,還有其他幾種可能性:
1)氣體通過氣體回充閥或分壓閥(比如氮氣或氬氣)進入爐室。拆下這些閥,檢查是否有灰塵、密封或膜片是否完好。
2)從氣冷式換熱器向真空中漏水。將換熱器從真空爐上拆下,檢查釬焊接合部位是否有水積聚。用空氣對換熱器加壓到大約100磅/平方英寸表壓,在所有釬焊部位刷上肥皂水看是否產生氣泡。如果有必要,將換熱器浸入水槽中,檢查是否有氣泡冒出。浸沒在水中后,換熱器在重新安裝到真空爐系統中之前必須在加熱爐內徹底烘干。這時,要在300?F下保持4小時,以使任何殘余的水分完全蒸發。
17、如果所有這些措施均不見效,則應考慮水從爐室水套漏入真空的可能性。水也可能從其他水套漏入真空,比如增壓泵或換熱器水套。拆下高溫區的所有部件,檢查是否有漏水產生的積水痕跡。如果沒有發現明顯的痕跡,用空氣對水套加壓到大約30磅/平方英寸表壓,在所有焊縫和接合部位刷上肥皂水看是否產生氣泡。有時,爐室中心會因出現裂紋甚至腐蝕而產生泄漏。爐室存在的所有泄漏都必須焊接修復和進行檢測,不能有任何氣泡產生。
18、從換熱器、真空室或其他水套漏入真空的水通常會使粗抽泵油變色(泄漏嚴重時變成乳白色,輕微時略有褪色)。如果漏水嚴重,爐室將不能抽真空到1托以下。如果爐室或換熱器外殼的底部積聚了游離水,它們會逐漸凝結成冰。有時,看上去就像是爐室或換熱器箱體的空氣側結了霜。
請記住,氦泄漏檢測儀的響應時間只是反映了泄漏的面積,準確的泄漏位置必須通過進一步分析才能確定。同一個區域常常存在著一處以上的泄漏。
如果使用氦泄漏檢測儀未發現任何泄漏,這并不意味著肯定沒有泄漏。要記住,檢測手段是壓升率測試。
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