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真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結,是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。但是,在日常使用時,它的應急措施我們一定的了解!
一、冷卻水異常
1、確認加熱電源已停止。
2、爐外發生漏水,冷卻水量異常時,應盡快采取應急措施,如能保證水量,請繼續保持真空,如不能采取應急措施,保持原狀,確認設備冷卻下來。
3、冷卻水發生異常時,設備處于停止狀態,馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
二、真空燒結爐壓縮空氣的停止
1、壓縮空氣異常報警時,設備處于停止狀態,應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。
2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復需要較長時間時,則終止真空,讓設備停下來。
三、停電
1、停電時,如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。
2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,繼續運轉如需要較長時間,則將設備保持原狀。
3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。
四、加熱電源掉電
1、水壓低,壓力表報警。
2、接地故障。
3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
4、電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。
五、真空燒結爐真空室壓力惡化
1、真空排氣時間比通常長時,應把設備停下來進行檢查,根據真空室內構造物不同狀態下放氣的影響,也有導致壓力升高的情況。
2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。
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