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真空壓力燒結爐具有熱壓燒結、無壓燒結、真空燒結、氣氛保護燒結功能,但是在使用中避免不了出現問題的,下面我們來看下使用中常見的問題有哪些?具體又是怎么解決的,我們來看下:
真空壓力燒結爐正常工作時突然出現現停電故障,應立即打開電源控制柜確認是外部停電故障,還是設備內部電源故障。如果是外部停電故障應立即關閉總電源開關,并取下進口和出口傳送帶上的硅片。真空壓力燒結爐正常工作時突然無冷卻水,設備會自動停止運轉,同時警報被觸發。此時應取下進口和出口傳送帶上的硅片,在設備PC上下載冷卻工藝。清潔完傳送帶后設備無法開啟可以真空壓力燒結爐進口和出口處的緊急停止開關被按下,拔出緊急停止開關即可解除機械鎖定。
另外真空壓力燒結爐在平時的使用中要做好檢查的工作,以免在使用時不能正常地使用。
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