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通常,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點:首先,藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好;其次,藍寶石的穩定性很好,能夠運用在高溫生長過程中;最后,藍寶石的機械強度高,易于處理和清洗。因此,大多數工藝一般都以藍寶石作為襯底材料。
在顯示及電子器件中,藍寶石襯底厚度僅有上百微米,在藍寶石襯底的切割、雙面研磨以及單面研磨、拋光過程中,盡管部分的加工應力會在下一道加工工序釋放,但是這種應力釋放是無序釋放,同時未釋放的加工應力會在晶片表面集聚,影響藍寶石晶片的翹曲程度,嚴重的翹曲會在后道加工過程產生破片,影響整個加工循環的晶片質量。
藍寶石襯底晶片加工過程中,研磨作業后需要進行退火處理,退火前需對襯底進行清洗,將清洗干凈后的襯底放入退火爐中進行高溫退火,以去除加工過程中所殘余的應力,并消除殘余應力所引起的襯底形變。
皓越科技針對行業需求,潛心研發 有氧和無氧襯底退火爐設備,以滿足客戶加工工藝的要求,創造極致的工業產品。
藍寶石晶片無氧退火爐
藍寶石晶片有氧退火爐
特點
技術參數
1)無氧退火爐
2)有氧退火爐
典型應用
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電話:13311665350
郵箱:service@haoyue-group.com
地址:上海市嘉定區嘉松北路7301號B2棟
工廠:江蘇省南通市通州區聚豐科創產業園1號廠房
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